鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù)
更新時(shí)間:2023-03-23 | 點(diǎn)擊率:1652
技術(shù)參數(shù):
1. 真空室:∅220mm*H400mm;
2. 可鍍最大工件尺寸:60*60mm,配抽拉式樣品臺(tái), 樣品可旋轉(zhuǎn);另配備銅基板樣品臺(tái);
3. 真空系統(tǒng):機(jī)械泵+分子泵抽氣系統(tǒng); 極限真空度:優(yōu)于 5*10-5Pa;
4. 抽氣時(shí)間:大氣壓~8*10-4Pa 小于 30min;
5. 蒸發(fā):電阻式蒸發(fā)電極(1 對(duì)),可達(dá)到 1800℃(只要熔點(diǎn)低于 1600 度的都可以蒸鍍)功率:2KW;
6. 開啟方式:正面開門結(jié)構(gòu),便于換絲及裝料;
7. 水冷循環(huán)系統(tǒng) 0.5P;
注:可根據(jù)用戶需要進(jìn)行配置調(diào)整!
設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹:
該設(shè)備由真空室、真空機(jī)組和電氣系統(tǒng)組成
1. 真空室
圓形形腔體,側(cè)部抽氣,正面開門。不銹鋼材質(zhì),配 DN60 觀察窗(含防污擋板)、預(yù)抽接口、充氣接口; 內(nèi)部有底板、蒸發(fā)源等;
2. 真空系統(tǒng)及進(jìn)氣
采用 110L 分子泵+4L 旋片式機(jī)械泵。采用真空波紋管連接,配有復(fù)合式數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x表。
3. 電氣系統(tǒng)
電氣系統(tǒng)包括真空機(jī)組控制、蒸發(fā)與烘烤控制、真空測(cè)量控制等部分組成。有安全互鎖機(jī)構(gòu),有效防止誤操作發(fā)生。系統(tǒng)配有 1 套蒸發(fā)電源,數(shù)顯。
4. 膜厚測(cè)量裝置:采用石英晶振膜厚儀及水冷探頭一套(選配)。